材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2007年
9期
24-27
,共4页
李金刚%杨德仁%马向阳%阙端麟
李金剛%楊德仁%馬嚮暘%闕耑麟
리금강%양덕인%마향양%궐단린
氢%氧扩散%热施主%氧沉淀%空洞型缺陷
氫%氧擴散%熱施主%氧沉澱%空洞型缺陷
경%양확산%열시주%양침정%공동형결함
总结了氢对直拉硅(CZ)单晶中缺陷影响的研究进展,主要介绍了氢促进氧扩散、热施主和氧沉淀生成,以及高温氢气退火促进直拉硅片空洞型缺陷消除的机理,其中氢促进硅中氧的扩散被认为是氢对直拉硅中的缺陷产生影响的主要原因.
總結瞭氫對直拉硅(CZ)單晶中缺陷影響的研究進展,主要介紹瞭氫促進氧擴散、熱施主和氧沉澱生成,以及高溫氫氣退火促進直拉硅片空洞型缺陷消除的機理,其中氫促進硅中氧的擴散被認為是氫對直拉硅中的缺陷產生影響的主要原因.
총결료경대직랍규(CZ)단정중결함영향적연구진전,주요개소료경촉진양확산、열시주화양침정생성,이급고온경기퇴화촉진직랍규편공동형결함소제적궤리,기중경촉진규중양적확산피인위시경대직랍규중적결함산생영향적주요원인.
