光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2008年
1期
62-65
,共4页
房轩%李艳宁%鄢志丹%傅星%胡小唐
房軒%李豔寧%鄢誌丹%傅星%鬍小唐
방헌%리염저%언지단%부성%호소당
原子力显微镜(AFM)%微悬臂梁%动态模式%敏感层
原子力顯微鏡(AFM)%微懸臂樑%動態模式%敏感層
원자력현미경(AFM)%미현비량%동태모식%민감층
针对微悬臂梁动态检测方式无法应用于液体环境,提出了一种利用微悬臂梁的高次谐振进行微小质量检测的方法.对于相同的被测量质量变化量,微悬臂梁的谐振级次越高,其频率偏移就越大,从而达到较高的灵敏度.以表面修饰了三乙基氢硫基十二基铵层(敏感层)的微悬臂梁为传感元件,以CrO 2- 4为被测物,在原子力显微镜(AFM)上检测了敏感层吸附CrO 2- 4 前后微悬臂梁的5次、6次、7次和8次谐振频率的变化.结果证明,谐振级次越高,灵敏度越高,在8次谐振时的检测灵敏度能够达到2.50 Hz/pg.
針對微懸臂樑動態檢測方式無法應用于液體環境,提齣瞭一種利用微懸臂樑的高次諧振進行微小質量檢測的方法.對于相同的被測量質量變化量,微懸臂樑的諧振級次越高,其頻率偏移就越大,從而達到較高的靈敏度.以錶麵脩飾瞭三乙基氫硫基十二基銨層(敏感層)的微懸臂樑為傳感元件,以CrO 2- 4為被測物,在原子力顯微鏡(AFM)上檢測瞭敏感層吸附CrO 2- 4 前後微懸臂樑的5次、6次、7次和8次諧振頻率的變化.結果證明,諧振級次越高,靈敏度越高,在8次諧振時的檢測靈敏度能夠達到2.50 Hz/pg.
침대미현비량동태검측방식무법응용우액체배경,제출료일충이용미현비량적고차해진진행미소질량검측적방법.대우상동적피측량질량변화량,미현비량적해진급차월고,기빈솔편이취월대,종이체도교고적령민도.이표면수식료삼을기경류기십이기안층(민감층)적미현비량위전감원건,이CrO 2- 4위피측물,재원자력현미경(AFM)상검측료민감층흡부CrO 2- 4 전후미현비량적5차、6차、7차화8차해진빈솔적변화.결과증명,해진급차월고,령민도월고,재8차해진시적검측령민도능구체도2.50 Hz/pg.
