真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
z1期
42-46
,共5页
刘红飞%程晓农%张志萍%付廷波
劉紅飛%程曉農%張誌萍%付廷波
류홍비%정효농%장지평%부정파
钨酸锆%薄膜%磁控溅射%负热膨胀
鎢痠鋯%薄膜%磁控濺射%負熱膨脹
오산고%박막%자공천사%부열팽창
采用WO3和ZrO2复合陶瓷靶材,以射频磁控溅射法在石英基片上沉积制备了ZrW2O8薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、表面粗糙轮廓仪和扫描电子显微镜(SEM),研究了不同工艺参数和不同退火温度对ZrW20s薄膜的相组成、沉积速率和表面形貌的影响.采用高温X射线衍射和Powder X软件研究薄膜的负热膨胀特性.实验结果表明:随着溅射功率的增加,薄膜沉积速率增加;而随着工作气压的增加,薄膜沉积速率先增加后减小;磁控溅射沉积制备的ZrW20s薄膜为非晶态,表面平滑、致密,随着热处理温度的升高,薄膜开始结晶且膜层颗粒增大;在740℃热处理3 n血后得到膜层颗粒呈短棒状的三方相ZrW2O8薄膜,在1200℃密闭条件下热处理3 min淬火后得到膜层颗粒呈球状的立方相ZrW2O8薄膜,且具有良好的负热膨胀特性.
採用WO3和ZrO2複閤陶瓷靶材,以射頻磁控濺射法在石英基片上沉積製備瞭ZrW2O8薄膜.利用X射線衍射儀(XRD)、錶麵粗糙輪廓儀和掃描電子顯微鏡(SEM),研究瞭不同工藝參數和不同退火溫度對ZrW20s薄膜的相組成、沉積速率和錶麵形貌的影響.採用高溫X射線衍射和Powder X軟件研究薄膜的負熱膨脹特性.實驗結果錶明:隨著濺射功率的增加,薄膜沉積速率增加;而隨著工作氣壓的增加,薄膜沉積速率先增加後減小;磁控濺射沉積製備的ZrW20s薄膜為非晶態,錶麵平滑、緻密,隨著熱處理溫度的升高,薄膜開始結晶且膜層顆粒增大;在740℃熱處理3 n血後得到膜層顆粒呈短棒狀的三方相ZrW2O8薄膜,在1200℃密閉條件下熱處理3 min淬火後得到膜層顆粒呈毬狀的立方相ZrW2O8薄膜,且具有良好的負熱膨脹特性.
채용WO3화ZrO2복합도자파재,이사빈자공천사법재석영기편상침적제비료ZrW2O8박막.이용X사선연사의(XRD)、표면조조륜곽의화소묘전자현미경(SEM),연구료불동공예삼수화불동퇴화온도대ZrW20s박막적상조성、침적속솔화표면형모적영향.채용고온X사선연사화Powder X연건연구박막적부열팽창특성.실험결과표명:수착천사공솔적증가,박막침적속솔증가;이수착공작기압적증가,박막침적속솔선증가후감소;자공천사침적제비적ZrW20s박막위비정태,표면평활、치밀,수착열처리온도적승고,박막개시결정차막층과립증대;재740℃열처리3 n혈후득도막층과립정단봉상적삼방상ZrW2O8박막,재1200℃밀폐조건하열처리3 min쉬화후득도막층과립정구상적립방상ZrW2O8박막,차구유량호적부열팽창특성.
