红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2007年
z1期
109-111
,共3页
梁华锋%赖建军%周光超%李小平
樑華鋒%賴建軍%週光超%李小平
량화봉%뢰건군%주광초%리소평
微型滤光片阵列%剥离工艺%双波段
微型濾光片陣列%剝離工藝%雙波段
미형려광편진렬%박리공예%쌍파단
双波段阵列式滤光片是集成式可见,红外双波段传感器的核心部件,分别采用干涉截止滤光方法和干涉吸收滤光法设计了蓝宝石衬底上红外和可见光波段的滤光膜系,实际测量两个波段的滤光膜的平均透过率均达到90%以上.同时采用光刻、电子束蒸发镀膜和剥离工艺完成了滤光片的制作.
雙波段陣列式濾光片是集成式可見,紅外雙波段傳感器的覈心部件,分彆採用榦涉截止濾光方法和榦涉吸收濾光法設計瞭藍寶石襯底上紅外和可見光波段的濾光膜繫,實際測量兩箇波段的濾光膜的平均透過率均達到90%以上.同時採用光刻、電子束蒸髮鍍膜和剝離工藝完成瞭濾光片的製作.
쌍파단진렬식려광편시집성식가견,홍외쌍파단전감기적핵심부건,분별채용간섭절지려광방법화간섭흡수려광법설계료람보석츤저상홍외화가견광파단적려광막계,실제측량량개파단적려광막적평균투과솔균체도90%이상.동시채용광각、전자속증발도막화박리공예완성료려광편적제작.
