微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
10期
647-651
,共5页
李保第%刘福庆%李彦伟%杨中月%胡玲%崔玉兴%付兴昌
李保第%劉福慶%李彥偉%楊中月%鬍玲%崔玉興%付興昌
리보제%류복경%리언위%양중월%호령%최옥흥%부흥창
半导体工艺线%计算机辅助制造(CAM)%统计过程控制(SPC)%工艺监控%工艺调整%控制图
半導體工藝線%計算機輔助製造(CAM)%統計過程控製(SPC)%工藝鑑控%工藝調整%控製圖
반도체공예선%계산궤보조제조(CAM)%통계과정공제(SPC)%공예감공%공예조정%공제도
探讨了在多品种小批量半导体工艺生产线上开发应用CAM技术及实现SPC控制的方法.作者及同事开发了适用于所在工艺线特点的CAM软件系统程序--WI系统,用于工艺的指导和记录、生产的安排和监控以及数据的记录和提取.利用SPC方法对由WI提取的数据进行统计分析处理,做出控制图,对各种工艺异常进行分析判断进而做出工艺调整,以实现有效的工艺监控,逐步提高工艺加工能力和稳定性.该生产控制方法的应用为工艺线产品的研制和生产提供了有力保证.
探討瞭在多品種小批量半導體工藝生產線上開髮應用CAM技術及實現SPC控製的方法.作者及同事開髮瞭適用于所在工藝線特點的CAM軟件繫統程序--WI繫統,用于工藝的指導和記錄、生產的安排和鑑控以及數據的記錄和提取.利用SPC方法對由WI提取的數據進行統計分析處理,做齣控製圖,對各種工藝異常進行分析判斷進而做齣工藝調整,以實現有效的工藝鑑控,逐步提高工藝加工能力和穩定性.該生產控製方法的應用為工藝線產品的研製和生產提供瞭有力保證.
탐토료재다품충소비량반도체공예생산선상개발응용CAM기술급실현SPC공제적방법.작자급동사개발료괄용우소재공예선특점적CAM연건계통정서--WI계통,용우공예적지도화기록、생산적안배화감공이급수거적기록화제취.이용SPC방법대유WI제취적수거진행통계분석처리,주출공제도,대각충공예이상진행분석판단진이주출공예조정,이실현유효적공예감공,축보제고공예가공능력화은정성.해생산공제방법적응용위공예선산품적연제화생산제공료유력보증.
