中南大学学报（自然科学版）
中南大學學報（自然科學版）
중남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CENTRAL SOUTH UNIVERSITY
2011年
3期
600-604
,共5页
李建青%满瑞林%谢志勇%谭瑞轩%黄启忠
李建青%滿瑞林%謝誌勇%譚瑞軒%黃啟忠
리건청%만서림%사지용%담서헌%황계충
CVD%各向同性炭%沉积机理
CVD%各嚮同性炭%沉積機理
CVD%각향동성탄%침적궤리
以丙烯作为碳源气体,氮气和氢气作为载气和稀释气体,采用自行设计的化学气相沉积(CVD)炉,设计特殊的发热体,利用微正压化学气相沉积法制备块体各向同性热解炭材料.对制备的材料取样分析,利用排水法测量样品的表观密度;通过金相显微镜表征材料的组织结构和表面形貌:利用扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜表征材料的微观结构和断口特征.提出了一种新的各向同性热解炭的沉积机理即电磁场流态化沉积机理.研究结果表明:在1 000～1 300℃沉积10~40 h,可得到密度为1.73~1.93 g/cm3、厚度为5～15mm的各向同性热解炭材料块体,主要由球形颗粒状热解炭组成,结构致密,孔隙较少,分布均匀,热解炭颗粒之间产生融并现象.
以丙烯作為碳源氣體,氮氣和氫氣作為載氣和稀釋氣體,採用自行設計的化學氣相沉積(CVD)爐,設計特殊的髮熱體,利用微正壓化學氣相沉積法製備塊體各嚮同性熱解炭材料.對製備的材料取樣分析,利用排水法測量樣品的錶觀密度;通過金相顯微鏡錶徵材料的組織結構和錶麵形貌:利用掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡錶徵材料的微觀結構和斷口特徵.提齣瞭一種新的各嚮同性熱解炭的沉積機理即電磁場流態化沉積機理.研究結果錶明:在1 000～1 300℃沉積10~40 h,可得到密度為1.73~1.93 g/cm3、厚度為5～15mm的各嚮同性熱解炭材料塊體,主要由毬形顆粒狀熱解炭組成,結構緻密,孔隙較少,分佈均勻,熱解炭顆粒之間產生融併現象.
이병희작위탄원기체,담기화경기작위재기화희석기체,채용자행설계적화학기상침적(CVD)로,설계특수적발열체,이용미정압화학기상침적법제비괴체각향동성열해탄재료.대제비적재료취양분석,이용배수법측량양품적표관밀도;통과금상현미경표정재료적조직결구화표면형모:이용소묘전자현미경(SEM)화투사전자현미경표정재료적미관결구화단구특정.제출료일충신적각향동성열해탄적침적궤리즉전자장류태화침적궤리.연구결과표명:재1 000～1 300℃침적10~40 h,가득도밀도위1.73~1.93 g/cm3、후도위5～15mm적각향동성열해탄재료괴체,주요유구형과립상열해탄조성,결구치밀,공극교소,분포균균,열해탄과립지간산생융병현상.
