光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2010年
z1期
14-18
,共5页
汤善治%王昭%蒋志雄%郭俊杰
湯善治%王昭%蔣誌雄%郭俊傑
탕선치%왕소%장지웅%곽준걸
光学测量%皮米分辨率%激光干涉仪%细分技术
光學測量%皮米分辨率%激光榦涉儀%細分技術
광학측량%피미분변솔%격광간섭의%세분기술
综述了国内、外皮米分辨率测量的研究进展.介绍了高分辨率(皮米级)的测量方法和当前的发展,并对其原理及细分技术作了分析.针对典型测量方法的局限,阐述了另两种新颖的测量方法,并较深入地分析其优势及不足.着重分析了多次反射式光学干涉仪的测量方法,相对于X射线干涉仪,它具有更高的分辨率且其装置较简单,易于实现,在光谱学、高准确度测量等领域的应用前景较好.
綜述瞭國內、外皮米分辨率測量的研究進展.介紹瞭高分辨率(皮米級)的測量方法和噹前的髮展,併對其原理及細分技術作瞭分析.針對典型測量方法的跼限,闡述瞭另兩種新穎的測量方法,併較深入地分析其優勢及不足.著重分析瞭多次反射式光學榦涉儀的測量方法,相對于X射線榦涉儀,它具有更高的分辨率且其裝置較簡單,易于實現,在光譜學、高準確度測量等領域的應用前景較好.
종술료국내、외피미분변솔측량적연구진전.개소료고분변솔(피미급)적측량방법화당전적발전,병대기원리급세분기술작료분석.침대전형측량방법적국한,천술료령량충신영적측량방법,병교심입지분석기우세급불족.착중분석료다차반사식광학간섭의적측량방법,상대우X사선간섭의,타구유경고적분변솔차기장치교간단,역우실현,재광보학、고준학도측량등영역적응용전경교호.
