电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2011年
5期
503-506
,共4页
李国栋%陈文彬%赵启义%芮大为
李國棟%陳文彬%趙啟義%芮大為
리국동%진문빈%조계의%예대위
有机薄膜%膜厚分布%蒙特卡洛法%有机气相沉积%流体动力学边界层%沉积参数
有機薄膜%膜厚分佈%矇特卡洛法%有機氣相沉積%流體動力學邊界層%沉積參數
유궤박막%막후분포%몽특잡락법%유궤기상침적%류체동역학변계층%침적삼수
有机气相沉积是一种基于载气体传输的有机薄膜生长方式.为了优化沉积参数,提高有机薄膜的均匀性,建立了简化的OVPD模型,模拟了不同传输条件对流体动力学边界层的影响.建立了有机分子沉积模型并利用蒙特卡洛法对边界层内的沉积过程进行仿真.结果表明在133 Pa的操作压强下使气流雷诺数从0.05增加到15,可获得更薄、更均匀的边界层；沉积速度反比于边界层厚度,并且厚度均匀的边界层有助于获得较好的膜厚分布.
有機氣相沉積是一種基于載氣體傳輸的有機薄膜生長方式.為瞭優化沉積參數,提高有機薄膜的均勻性,建立瞭簡化的OVPD模型,模擬瞭不同傳輸條件對流體動力學邊界層的影響.建立瞭有機分子沉積模型併利用矇特卡洛法對邊界層內的沉積過程進行倣真.結果錶明在133 Pa的操作壓彊下使氣流雷諾數從0.05增加到15,可穫得更薄、更均勻的邊界層；沉積速度反比于邊界層厚度,併且厚度均勻的邊界層有助于穫得較好的膜厚分佈.
유궤기상침적시일충기우재기체전수적유궤박막생장방식.위료우화침적삼수,제고유궤박막적균균성,건립료간화적OVPD모형,모의료불동전수조건대류체동역학변계층적영향.건립료유궤분자침적모형병이용몽특잡락법대변계층내적침적과정진행방진.결과표명재133 Pa적조작압강하사기류뢰낙수종0.05증가도15,가획득경박、경균균적변계층；침적속도반비우변계층후도,병차후도균균적변계층유조우획득교호적막후분포.
