气相合成SnO2超微粒薄膜研究
기상합성SnO2초미립박막연구
Research for Preparation of SnO2 Ultrafine Particle Films
  • 万方数据
    化学物理学报 화학물이학보
    CHINESE JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS
    2001年 4期 469-473 ,共5页

    陆慧%王亮兴%贺黎明%滕月莉%潘孝仁

    륙혜%왕량흥%하려명%등월리%반효인

    SnO2%超微粒薄膜%结构 SnO2%超微粒薄膜%結構
    SnO2%초미립박막%결구
    用直流气体放电活化反应蒸发法在玻璃基片上沉积的SnO2超微粒薄膜,研究其过程中各工艺参数对薄膜结构的影响及作用机理.结果表明, SnO2超微粒薄膜粒径随氧分压增加而增大;蒸镀时间的延长有助于SnO2的生成,也使薄膜发生晶化;而增加放电电压,则薄膜出现外延单晶生长趋势.
    용직류기체방전활화반응증발법재파리기편상침적적SnO2초미립박막,연구기과정중각공예삼수대박막결구적영향급작용궤리.결과표명, SnO2초미립박막립경수양분압증가이증대;증도시간적연장유조우SnO2적생성,야사박막발생정화;이증가방전전압,칙박막출현외연단정생장추세.
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