微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
1期
36-40,60
,共6页
王权岱%段玉岗%卢秉恒%丁玉成
王權岱%段玉崗%盧秉恆%丁玉成
왕권대%단옥강%로병항%정옥성
MEMS%压印模版%玻璃%湿法刻蚀
MEMS%壓印模版%玻璃%濕法刻蝕
MEMS%압인모판%파리%습법각식
介绍了一种基于玻璃湿法刻蚀低成本的MEMS压印模版制作工艺,工艺中以单层光刻胶作为刻蚀掩模,重点研究了改善刻蚀图形几何轮廓和提高表面质量的方法.在对钻蚀形成机理进行分析的基础上,通过对比偶联剂不同涂敷方式及不同蒸镀时间对刻蚀结果的影响,优化了硅烷偶联剂的涂敷工艺,使钻蚀率降低到0.6,图形几何形状得到改善.分析了刻蚀生成物的溶解度,采用HCl作为刻蚀液添加剂对刻蚀产生的难溶物进行分解,提高了表面质量.对刻蚀表面缺陷的形成原因进行了分析,采用厚胶层工艺消除了表面缺陷.利用该工艺制作了图形特征尺寸为100 μm的MEMS压印模版,并进行了初步压印实验,得到了很高的复型精度.
介紹瞭一種基于玻璃濕法刻蝕低成本的MEMS壓印模版製作工藝,工藝中以單層光刻膠作為刻蝕掩模,重點研究瞭改善刻蝕圖形幾何輪廓和提高錶麵質量的方法.在對鑽蝕形成機理進行分析的基礎上,通過對比偶聯劑不同塗敷方式及不同蒸鍍時間對刻蝕結果的影響,優化瞭硅烷偶聯劑的塗敷工藝,使鑽蝕率降低到0.6,圖形幾何形狀得到改善.分析瞭刻蝕生成物的溶解度,採用HCl作為刻蝕液添加劑對刻蝕產生的難溶物進行分解,提高瞭錶麵質量.對刻蝕錶麵缺陷的形成原因進行瞭分析,採用厚膠層工藝消除瞭錶麵缺陷.利用該工藝製作瞭圖形特徵呎吋為100 μm的MEMS壓印模版,併進行瞭初步壓印實驗,得到瞭很高的複型精度.
개소료일충기우파리습법각식저성본적MEMS압인모판제작공예,공예중이단층광각효작위각식엄모,중점연구료개선각식도형궤하륜곽화제고표면질량적방법.재대찬식형성궤리진행분석적기출상,통과대비우련제불동도부방식급불동증도시간대각식결과적영향,우화료규완우련제적도부공예,사찬식솔강저도0.6,도형궤하형상득도개선.분석료각식생성물적용해도,채용HCl작위각식액첨가제대각식산생적난용물진행분해,제고료표면질량.대각식표면결함적형성원인진행료분석,채용후효층공예소제료표면결함.이용해공예제작료도형특정척촌위100 μm적MEMS압인모판,병진행료초보압인실험,득도료흔고적복형정도.
