电镀与涂饰
電鍍與塗飾
전도여도식
ELECTROPLATING & FINISHING
2006年
6期
15-17
,共3页
秦聪祥%曾鹏%胡社军%汝强%吴键
秦聰祥%曾鵬%鬍社軍%汝彊%吳鍵
진총상%증붕%호사군%여강%오건
TiAlSiN%电弧沉积%显微硬度%耐磨性
TiAlSiN%電弧沉積%顯微硬度%耐磨性
TiAlSiN%전호침적%현미경도%내마성
利用等离子体辅助电孤沉积技术制备了不同成分的TiAlSiN多元薄膜,并研究了Si含量对薄膜组织结构、显微硬度和耐磨性的影响.XRD物相分析表明:薄膜主要由AlN和TiN组成.随着膜层中Si含量的增加,薄膜的结构由明显的柱状晶转变为致密的玻璃态结构,显微硬度逐渐提高,耐磨性能得到明显改善.
利用等離子體輔助電孤沉積技術製備瞭不同成分的TiAlSiN多元薄膜,併研究瞭Si含量對薄膜組織結構、顯微硬度和耐磨性的影響.XRD物相分析錶明:薄膜主要由AlN和TiN組成.隨著膜層中Si含量的增加,薄膜的結構由明顯的柱狀晶轉變為緻密的玻璃態結構,顯微硬度逐漸提高,耐磨性能得到明顯改善.
이용등리자체보조전고침적기술제비료불동성분적TiAlSiN다원박막,병연구료Si함량대박막조직결구、현미경도화내마성적영향.XRD물상분석표명:박막주요유AlN화TiN조성.수착막층중Si함량적증가,박막적결구유명현적주상정전변위치밀적파리태결구,현미경도축점제고,내마성능득도명현개선.
