传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2007年
12期
60-62
,共3页
陈兵芽%刘莹%胡敏%李小兵%刘智勇
陳兵芽%劉瑩%鬍敏%李小兵%劉智勇
진병아%류형%호민%리소병%류지용
石蜡%试验装置%熔点%体膨胀系数
石蠟%試驗裝置%鎔點%體膨脹繫數
석사%시험장치%용점%체팽창계수
在微机电系统中,为了兼顾作用力强和形变量大两者的统一,采用以石蜡作为热膨胀材料的热驱动方式.介绍了水浴加热石蜡热膨胀性能试验装置,试验结果表明:石蜡在其熔点温度附近,试验中所用石蜡当温度从37℃升高到51℃时,其体膨胀系数可以达到甚至超过10%,而且,作用力大;不同成分(C原子)比例的石蜡,其熔点温度变化范围为30～70℃,这使驱动器在不允许有较大温度变化的环境中(如人体内)使用成为可能.
在微機電繫統中,為瞭兼顧作用力彊和形變量大兩者的統一,採用以石蠟作為熱膨脹材料的熱驅動方式.介紹瞭水浴加熱石蠟熱膨脹性能試驗裝置,試驗結果錶明:石蠟在其鎔點溫度附近,試驗中所用石蠟噹溫度從37℃升高到51℃時,其體膨脹繫數可以達到甚至超過10%,而且,作用力大;不同成分(C原子)比例的石蠟,其鎔點溫度變化範圍為30～70℃,這使驅動器在不允許有較大溫度變化的環境中(如人體內)使用成為可能.
재미궤전계통중,위료겸고작용력강화형변량대량자적통일,채용이석사작위열팽창재료적열구동방식.개소료수욕가열석사열팽창성능시험장치,시험결과표명:석사재기용점온도부근,시험중소용석사당온도종37℃승고도51℃시,기체팽창계수가이체도심지초과10%,이차,작용력대;불동성분(C원자)비례적석사,기용점온도변화범위위30～70℃,저사구동기재불윤허유교대온도변화적배경중(여인체내)사용성위가능.
