功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
1期
125-128
,共4页
陈治宇%吕知秋%张锦文%金玉丰%李婷%田大宇%王颖
陳治宇%呂知鞦%張錦文%金玉豐%李婷%田大宇%王穎
진치우%려지추%장금문%금옥봉%리정%전대우%왕영
驻极体%SiO2/Si3N4双层膜%PECVD
駐極體%SiO2/Si3N4雙層膜%PECVD
주겁체%SiO2/Si3N4쌍층막%PECVD
本文研究了在带有Cr/Au电极的玻璃衬底上利用PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能.针对这种驻极体提出了一个简单的工艺流程暴露出一部分金属电极,并在电晕注极过程中将底电极引出接地.通过实验改变电晕注极过程中的注极时间、温度等因素,希望得到对PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能的优化.本文证实了PECVD双层膜具备良好的驻极体性能,有望广泛应用于微器件中.
本文研究瞭在帶有Cr/Au電極的玻璃襯底上利用PECVD製備的SiO2/Si3N4雙層膜駐極體性能.針對這種駐極體提齣瞭一箇簡單的工藝流程暴露齣一部分金屬電極,併在電暈註極過程中將底電極引齣接地.通過實驗改變電暈註極過程中的註極時間、溫度等因素,希望得到對PECVD製備的SiO2/Si3N4雙層膜駐極體性能的優化.本文證實瞭PECVD雙層膜具備良好的駐極體性能,有望廣汎應用于微器件中.
본문연구료재대유Cr/Au전겁적파리츤저상이용PECVD제비적SiO2/Si3N4쌍층막주겁체성능.침대저충주겁체제출료일개간단적공예류정폭로출일부분금속전겁,병재전훈주겁과정중장저전겁인출접지.통과실험개변전훈주겁과정중적주겁시간、온도등인소,희망득도대PECVD제비적SiO2/Si3N4쌍층막주겁체성능적우화.본문증실료PECVD쌍층막구비량호적주겁체성능,유망엄범응용우미기건중.
