河北北方学院学报（自然科学版）
河北北方學院學報（自然科學版）
하북북방학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEBEI NORTH UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2009年
1期
20-23
,共4页
杨富%蔡道林%南景宇%韩冰
楊富%蔡道林%南景宇%韓冰
양부%채도림%남경우%한빙
MFMIS%铁电场效应晶体管%存储窗口
MFMIS%鐵電場效應晶體管%存儲窗口
MFMIS%철전장효응정체관%존저창구
目的 研究金属/铁电/金属/多晶硅/绝缘层/Si衬底(MFMIS)结构的p沟道铁电场效应晶体管的性能.方法 制备金属/铁电/金属/多晶硅/绝缘层/Si衬底(MFMIS)结构的p沟道铁电场效应晶体管并对其性能进行测量分析.结果 具有顺时针的Id-Vg滞回曲线的p沟道PZT铁电场效应晶体管能实现极化存储性能,并且在-5V到+5V的Vg电压下从Id-Vg滞回曲线中都得到了1V的存储窗口.存储窗口随-Vg的增大而增大.结论 MFMIS结构的p沟道PZT铁电场效应晶体管适合在大规模、高密度、高速度铁电存储器上使用.
目的 研究金屬/鐵電/金屬/多晶硅/絕緣層/Si襯底(MFMIS)結構的p溝道鐵電場效應晶體管的性能.方法 製備金屬/鐵電/金屬/多晶硅/絕緣層/Si襯底(MFMIS)結構的p溝道鐵電場效應晶體管併對其性能進行測量分析.結果 具有順時針的Id-Vg滯迴麯線的p溝道PZT鐵電場效應晶體管能實現極化存儲性能,併且在-5V到+5V的Vg電壓下從Id-Vg滯迴麯線中都得到瞭1V的存儲窗口.存儲窗口隨-Vg的增大而增大.結論 MFMIS結構的p溝道PZT鐵電場效應晶體管適閤在大規模、高密度、高速度鐵電存儲器上使用.
목적 연구금속/철전/금속/다정규/절연층/Si츤저(MFMIS)결구적p구도철전장효응정체관적성능.방법 제비금속/철전/금속/다정규/절연층/Si츤저(MFMIS)결구적p구도철전장효응정체관병대기성능진행측량분석.결과 구유순시침적Id-Vg체회곡선적p구도PZT철전장효응정체관능실현겁화존저성능,병차재-5V도+5V적Vg전압하종Id-Vg체회곡선중도득도료1V적존저창구.존저창구수-Vg적증대이증대.결론 MFMIS결구적p구도PZT철전장효응정체관괄합재대규모、고밀도、고속도철전존저기상사용.
