电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2009年
8期
9-12
,共4页
陈特超%李军阳%刘松%罗亮
陳特超%李軍暘%劉鬆%囉亮
진특초%리군양%류송%라량
多晶硅%铸锭%坩埚%喷涂%烧结炉%实验
多晶硅%鑄錠%坩堝%噴塗%燒結爐%實驗
다정규%주정%감과%분도%소결로%실험
多晶硅铸锭时是将硅材料放在一个耐高温容器即坩埚中将硅料熔化、冷却、长晶的过程.装硅料的容器必须耐高温,不挥发,一般采用氧化硅陶瓷制造.为了保证硅锭的纯度,在硅料放入前需在坩埚内表面喷涂一层隔离材料,然后将此材料与坩埚在高温下形成一体.坩埚烧结炉就是将此喷涂物与坩埚烧结起来,形成牢固的隔离层.本文介绍了设计方法,提供了详细设计计算过程,介绍了设备的特点,并结合实际使用情况给出了测试数据.
多晶硅鑄錠時是將硅材料放在一箇耐高溫容器即坩堝中將硅料鎔化、冷卻、長晶的過程.裝硅料的容器必鬚耐高溫,不揮髮,一般採用氧化硅陶瓷製造.為瞭保證硅錠的純度,在硅料放入前需在坩堝內錶麵噴塗一層隔離材料,然後將此材料與坩堝在高溫下形成一體.坩堝燒結爐就是將此噴塗物與坩堝燒結起來,形成牢固的隔離層.本文介紹瞭設計方法,提供瞭詳細設計計算過程,介紹瞭設備的特點,併結閤實際使用情況給齣瞭測試數據.
다정규주정시시장규재료방재일개내고온용기즉감과중장규료용화、냉각、장정적과정.장규료적용기필수내고온,불휘발,일반채용양화규도자제조.위료보증규정적순도,재규료방입전수재감과내표면분도일층격리재료,연후장차재료여감과재고온하형성일체.감과소결로취시장차분도물여감과소결기래,형성뢰고적격리층.본문개소료설계방법,제공료상세설계계산과정,개소료설비적특점,병결합실제사용정황급출료측시수거.
