材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2010年
22期
46-49
,共4页
付长凤%韩连福%刘超%陈希明
付長鳳%韓連福%劉超%陳希明
부장봉%한련복%류초%진희명
Cr掺杂%ZnO薄膜%蓝移%磁控溅射法
Cr摻雜%ZnO薄膜%藍移%磁控濺射法
Cr참잡%ZnO박막%람이%자공천사법
采用磁控溅射法在载玻片上制备了不同Cr掺杂浓度的ZnO薄膜,并对其紫外发光性能做了初步研究.XRD结果表明,所制备的样品具有纤锌矿结构,呈c轴择优取向生长;透射谱表明,改变Cr掺杂浓度可以使ZnO薄膜的吸收边向短波方向移动,并且薄膜的禁带宽度连续可调;光致发光(PL)谱表明,所有样品的PL谱由发光中心位于370nm的紫外发光峰组成,且该峰的峰位蓝移,与吸收边缘移动的结果吻合.2.0%(原子分数,下同)的Cr掺杂可以提高ZnO的紫外发光强度,而过量的Cr掺杂反而会降低其紫外发光强度.
採用磁控濺射法在載玻片上製備瞭不同Cr摻雜濃度的ZnO薄膜,併對其紫外髮光性能做瞭初步研究.XRD結果錶明,所製備的樣品具有纖鋅礦結構,呈c軸擇優取嚮生長;透射譜錶明,改變Cr摻雜濃度可以使ZnO薄膜的吸收邊嚮短波方嚮移動,併且薄膜的禁帶寬度連續可調;光緻髮光(PL)譜錶明,所有樣品的PL譜由髮光中心位于370nm的紫外髮光峰組成,且該峰的峰位藍移,與吸收邊緣移動的結果吻閤.2.0%(原子分數,下同)的Cr摻雜可以提高ZnO的紫外髮光彊度,而過量的Cr摻雜反而會降低其紫外髮光彊度.
채용자공천사법재재파편상제비료불동Cr참잡농도적ZnO박막,병대기자외발광성능주료초보연구.XRD결과표명,소제비적양품구유섬자광결구,정c축택우취향생장;투사보표명,개변Cr참잡농도가이사ZnO박막적흡수변향단파방향이동,병차박막적금대관도련속가조;광치발광(PL)보표명,소유양품적PL보유발광중심위우370nm적자외발광봉조성,차해봉적봉위람이,여흡수변연이동적결과문합.2.0%(원자분수,하동)적Cr참잡가이제고ZnO적자외발광강도,이과량적Cr참잡반이회강저기자외발광강도.
