真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2011年
3期
49-54
,共6页
李芬%朱颖%李刘合%卢求元%朱剑豪
李芬%硃穎%李劉閤%盧求元%硃劍豪
리분%주영%리류합%로구원%주검호
薄膜制备%磁控溅射%平衡磁控溅射%非平衡磁控溅射
薄膜製備%磁控濺射%平衡磁控濺射%非平衡磁控濺射
박막제비%자공천사%평형자공천사%비평형자공천사
磁控溅射技术可制备超硬膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜,以及各种具有特殊功能的薄膜,在工业薄膜制备领域的应用非常广泛.本文着重介绍了磁控溅射技术原理、特点、磁控溅射技术的发展史及其发展趋势.
磁控濺射技術可製備超硬膜、耐腐蝕摩抆薄膜、超導薄膜、磁性薄膜、光學薄膜,以及各種具有特殊功能的薄膜,在工業薄膜製備領域的應用非常廣汎.本文著重介紹瞭磁控濺射技術原理、特點、磁控濺射技術的髮展史及其髮展趨勢.
자공천사기술가제비초경막、내부식마찰박막、초도박막、자성박막、광학박막,이급각충구유특수공능적박막,재공업박막제비영역적응용비상엄범.본문착중개소료자공천사기술원리、특점、자공천사기술적발전사급기발전추세.
