现代制造工程
現代製造工程
현대제조공정
MODERN MANUFACTURING ENGINEERING
2011年
11期
82-85
,共4页
陶瓷压阻式传感器%有限元%线性度%灵敏度%优化
陶瓷壓阻式傳感器%有限元%線性度%靈敏度%優化
도자압조식전감기%유한원%선성도%령민도%우화
阐述了陶瓷压阻式传感器的结构组成和工作原理.利用有限元ANSYS11.0软件对该陶瓷压阻式传感器进行仿真分析,分析结果表明,该陶瓷压阻式传感器线性度较低,灵敏度较差；随后对厚膜电阻布片位置和弹性膜片的径厚比进行优化,通过计算得出优化后陶瓷压阻式传感器的线性度提高0.23％,灵敏度提高20.5mV/MPa.这些分析为此类传感器的设计提供了理论依据.
闡述瞭陶瓷壓阻式傳感器的結構組成和工作原理.利用有限元ANSYS11.0軟件對該陶瓷壓阻式傳感器進行倣真分析,分析結果錶明,該陶瓷壓阻式傳感器線性度較低,靈敏度較差；隨後對厚膜電阻佈片位置和彈性膜片的徑厚比進行優化,通過計算得齣優化後陶瓷壓阻式傳感器的線性度提高0.23％,靈敏度提高20.5mV/MPa.這些分析為此類傳感器的設計提供瞭理論依據.
천술료도자압조식전감기적결구조성화공작원리.이용유한원ANSYS11.0연건대해도자압조식전감기진행방진분석,분석결과표명,해도자압조식전감기선성도교저,령민도교차；수후대후막전조포편위치화탄성막편적경후비진행우화,통과계산득출우화후도자압조식전감기적선성도제고0.23％,령민도제고20.5mV/MPa.저사분석위차류전감기적설계제공료이론의거.
