半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2012年
4期
267-270
,共4页
多晶金刚石%三乙醇胺%分散剂%蓝宝石%研磨
多晶金剛石%三乙醇胺%分散劑%藍寶石%研磨
다정금강석%삼을순알%분산제%람보석%연마
在LED制造工艺中,金刚石研磨液是一种关键的耗材,用于蓝宝石衬底的研磨和外延片的背减薄,但目前金刚石研磨液均以有机物作为分散介质.采用水为分散介质、多晶金刚石微粉为磨料,在相同研磨条件下,研究了不同种类的碱和分散剂对蓝宝石研磨性能的影响.分别采用分析天平称重法和原子力显微镜测试了研磨速率和蓝宝石的表面粗糙度.结果表明,抛光后蓝宝石表面质量和抛光液分散性有严格的依赖关系,而抛光速率和研磨液分散性并不严格相关.最后,采用三乙醇胺为pH值调节剂,Orotan 1124为分散剂,获得了相对较高的去除率和较好的表面质量.
在LED製造工藝中,金剛石研磨液是一種關鍵的耗材,用于藍寶石襯底的研磨和外延片的揹減薄,但目前金剛石研磨液均以有機物作為分散介質.採用水為分散介質、多晶金剛石微粉為磨料,在相同研磨條件下,研究瞭不同種類的堿和分散劑對藍寶石研磨性能的影響.分彆採用分析天平稱重法和原子力顯微鏡測試瞭研磨速率和藍寶石的錶麵粗糙度.結果錶明,拋光後藍寶石錶麵質量和拋光液分散性有嚴格的依賴關繫,而拋光速率和研磨液分散性併不嚴格相關.最後,採用三乙醇胺為pH值調節劑,Orotan 1124為分散劑,穫得瞭相對較高的去除率和較好的錶麵質量.
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