人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
6期
1396-1400
,共5页
赵庆勋%魏大勇%王宽冒%马继奎%刘保亭%王英龙
趙慶勛%魏大勇%王寬冒%馬繼奎%劉保亭%王英龍
조경훈%위대용%왕관모%마계규%류보정%왕영룡
脉冲激光沉积%沉积温度%铁酸铋薄膜
脈遲激光沉積%沉積溫度%鐵痠鉍薄膜
맥충격광침적%침적온도%철산필박막
采用磁控溅射法制备SrRuO3(SRO)薄膜、脉冲激光沉积法制备BiFeO3(BFO),构架了Pt/SRO/BFO/SRO/SrTiO3(001)异质结,采用X射线衍射仪(XRD)、铁电测试仪研究了沉积温度对BFO薄膜结构和性能的影响.研究结果表明,随着温度的升高,BFO(001)和(002)衍射峰强度逐渐增强,BFO(110)和Bi2O3衍射峰强度逐渐减小,不同沉积温度下生长的样品都具有铁电性,在800 kV/cm的电场下,640 ℃下生长的BFO薄膜的剩余极化强度为65 μC/cm2.采用数学拟合的方法研究了Pt/SrRuO3/BiFeO3/SrRuO3/SrTiO3的漏电机理,结果表明BFO薄膜导电机理为普尔-弗兰克导电机理.
採用磁控濺射法製備SrRuO3(SRO)薄膜、脈遲激光沉積法製備BiFeO3(BFO),構架瞭Pt/SRO/BFO/SRO/SrTiO3(001)異質結,採用X射線衍射儀(XRD)、鐵電測試儀研究瞭沉積溫度對BFO薄膜結構和性能的影響.研究結果錶明,隨著溫度的升高,BFO(001)和(002)衍射峰彊度逐漸增彊,BFO(110)和Bi2O3衍射峰彊度逐漸減小,不同沉積溫度下生長的樣品都具有鐵電性,在800 kV/cm的電場下,640 ℃下生長的BFO薄膜的剩餘極化彊度為65 μC/cm2.採用數學擬閤的方法研究瞭Pt/SrRuO3/BiFeO3/SrRuO3/SrTiO3的漏電機理,結果錶明BFO薄膜導電機理為普爾-弗蘭剋導電機理.
채용자공천사법제비SrRuO3(SRO)박막、맥충격광침적법제비BiFeO3(BFO),구가료Pt/SRO/BFO/SRO/SrTiO3(001)이질결,채용X사선연사의(XRD)、철전측시의연구료침적온도대BFO박막결구화성능적영향.연구결과표명,수착온도적승고,BFO(001)화(002)연사봉강도축점증강,BFO(110)화Bi2O3연사봉강도축점감소,불동침적온도하생장적양품도구유철전성,재800 kV/cm적전장하,640 ℃하생장적BFO박막적잉여겁화강도위65 μC/cm2.채용수학의합적방법연구료Pt/SrRuO3/BiFeO3/SrRuO3/SrTiO3적루전궤리,결과표명BFO박막도전궤리위보이-불란극도전궤리.
