传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2003年
8期
78-80
,共3页
孔祥霞%孙良彦%平田光寿
孔祥霞%孫良彥%平田光壽
공상하%손량언%평전광수
聚苯胺%NH3气体传感器%选择性%常温
聚苯胺%NH3氣體傳感器%選擇性%常溫
취분알%NH3기체전감기%선택성%상온
采用MEMS技术,如KOH腐蚀、光刻、溅射金属等技术,在硅片、玻璃等材料上制得平面式微传感器管芯,此结构具有微型化、低功耗、一致性好、适宜大批量生产的优点.敏感材料的采用不同于传统无机物,而是以苯胺为原料,合成高分子聚合物--聚苯胺,此敏感材料不需要加热源,其电阻在室温下与NH3浓度成一定函数关系,可以测得空气中较低含量的NH3.聚苯胺的另一个显著优点是高选择性,实验表明,高达1000×10-6(气体体积分数)的H2,CH4,CO,C4H10,C2H5OH的灵敏度远低于50×10-6(NH3气体体积分数)的灵敏度.
採用MEMS技術,如KOH腐蝕、光刻、濺射金屬等技術,在硅片、玻璃等材料上製得平麵式微傳感器管芯,此結構具有微型化、低功耗、一緻性好、適宜大批量生產的優點.敏感材料的採用不同于傳統無機物,而是以苯胺為原料,閤成高分子聚閤物--聚苯胺,此敏感材料不需要加熱源,其電阻在室溫下與NH3濃度成一定函數關繫,可以測得空氣中較低含量的NH3.聚苯胺的另一箇顯著優點是高選擇性,實驗錶明,高達1000×10-6(氣體體積分數)的H2,CH4,CO,C4H10,C2H5OH的靈敏度遠低于50×10-6(NH3氣體體積分數)的靈敏度.
채용MEMS기술,여KOH부식、광각、천사금속등기술,재규편、파리등재료상제득평면식미전감기관심,차결구구유미형화、저공모、일치성호、괄의대비량생산적우점.민감재료적채용불동우전통무궤물,이시이분알위원료,합성고분자취합물--취분알,차민감재료불수요가열원,기전조재실온하여NH3농도성일정함수관계,가이측득공기중교저함량적NH3.취분알적령일개현저우점시고선택성,실험표명,고체1000×10-6(기체체적분수)적H2,CH4,CO,C4H10,C2H5OH적령민도원저우50×10-6(NH3기체체적분수)적령민도.
