强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2010年
8期
1705-1708
,共4页
王淑云%郭延龙%刘旭%曹海源%王会升%程勇
王淑雲%郭延龍%劉旭%曹海源%王會升%程勇
왕숙운%곽연룡%류욱%조해원%왕회승%정용
类金刚石膜%飞秒激光%氧气氛%偏压%温度
類金剛石膜%飛秒激光%氧氣氛%偏壓%溫度
류금강석막%비초격광%양기분%편압%온도
采用飞秒激光(800 nm, 120 fs, 3 W, 1 000 Hz)制备类金刚石膜,研究了不同偏压、生长温度和氧气氛等辅助手段对激光沉积类金刚石膜的影响,实验发现在室温(25 ℃)、无偏压和低气压氧气氛(2 Pa)条件下沉积的类金刚石膜性能最优.在单面预镀普通增透膜的硅红外窗口材料上镀制出了无氢类金刚石膜,3～5 μm 波段平均透过率达到90%以上,纳米硬度高达40 GPa,用压力为9.8 N的橡皮磨头,摩擦105次,膜层未见磨损,并且通过了军标规定的高温、低温、湿热、盐雾等环境试验,所制类金刚石膜可对红外窗口起到较好的增透保护作用.
採用飛秒激光(800 nm, 120 fs, 3 W, 1 000 Hz)製備類金剛石膜,研究瞭不同偏壓、生長溫度和氧氣氛等輔助手段對激光沉積類金剛石膜的影響,實驗髮現在室溫(25 ℃)、無偏壓和低氣壓氧氣氛(2 Pa)條件下沉積的類金剛石膜性能最優.在單麵預鍍普通增透膜的硅紅外窗口材料上鍍製齣瞭無氫類金剛石膜,3～5 μm 波段平均透過率達到90%以上,納米硬度高達40 GPa,用壓力為9.8 N的橡皮磨頭,摩抆105次,膜層未見磨損,併且通過瞭軍標規定的高溫、低溫、濕熱、鹽霧等環境試驗,所製類金剛石膜可對紅外窗口起到較好的增透保護作用.
채용비초격광(800 nm, 120 fs, 3 W, 1 000 Hz)제비류금강석막,연구료불동편압、생장온도화양기분등보조수단대격광침적류금강석막적영향,실험발현재실온(25 ℃)、무편압화저기압양기분(2 Pa)조건하침적적류금강석막성능최우.재단면예도보통증투막적규홍외창구재료상도제출료무경류금강석막,3～5 μm 파단평균투과솔체도90%이상,납미경도고체40 GPa,용압력위9.8 N적상피마두,마찰105차,막층미견마손,병차통과료군표규정적고온、저온、습열、염무등배경시험,소제류금강석막가대홍외창구기도교호적증투보호작용.
