青岛科技大学学报(自然科学版)
青島科技大學學報(自然科學版)
청도과기대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF QINGDAO UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
1期
36-38
,共3页
等离子体%热丝%化学气相沉积%金刚石薄膜
等離子體%熱絲%化學氣相沉積%金剛石薄膜
등리자체%열사%화학기상침적%금강석박막
采用等离子辅助热丝化学气相沉积(PAHFCVD)装置进行了金刚石薄膜的制备.并运用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)测试手段对沉积的金刚石薄膜进行了观察分析.在甲烷与氢气体积比为2:98、基体温度为800℃、等离子体偏压400V、沉积气压4kPa的沉积条件下可获得晶形完整的金刚石膜,其沉积速率可达1.1μm·h-1.
採用等離子輔助熱絲化學氣相沉積(PAHFCVD)裝置進行瞭金剛石薄膜的製備.併運用X射線衍射(XRD)和掃描電子顯微鏡(SEM)測試手段對沉積的金剛石薄膜進行瞭觀察分析.在甲烷與氫氣體積比為2:98、基體溫度為800℃、等離子體偏壓400V、沉積氣壓4kPa的沉積條件下可穫得晶形完整的金剛石膜,其沉積速率可達1.1μm·h-1.
채용등리자보조열사화학기상침적(PAHFCVD)장치진행료금강석박막적제비.병운용X사선연사(XRD)화소묘전자현미경(SEM)측시수단대침적적금강석박막진행료관찰분석.재갑완여경기체적비위2:98、기체온도위800℃、등리자체편압400V、침적기압4kPa적침적조건하가획득정형완정적금강석막,기침적속솔가체1.1μm·h-1.
