传感器世界
傳感器世界
전감기세계
SENSOR WORLD
2010年
1期
28-31
,共4页
压力传感器%硅氧化物绝缘体(SOI)%微电子机械系统(MEMS)%压阻效应
壓力傳感器%硅氧化物絕緣體(SOI)%微電子機械繫統(MEMS)%壓阻效應
압력전감기%규양화물절연체(SOI)%미전자궤계계통(MEMS)%압조효응
应用压组效应原理制作硅氧化物绝缘体(SOI)压力传感器,具有耐高温、抗辐射、稳定性好等优点,本文说明了SOI在微电子机械系统(MEMS)技术上的实现优势,并对压力传感器SOI结构的实现工艺进行了探索性试验,完成了SOI压力传感器的设计和封装,在强调了压力传感器的测试方法的同时,对所设计的样品进行了测试.
應用壓組效應原理製作硅氧化物絕緣體(SOI)壓力傳感器,具有耐高溫、抗輻射、穩定性好等優點,本文說明瞭SOI在微電子機械繫統(MEMS)技術上的實現優勢,併對壓力傳感器SOI結構的實現工藝進行瞭探索性試驗,完成瞭SOI壓力傳感器的設計和封裝,在彊調瞭壓力傳感器的測試方法的同時,對所設計的樣品進行瞭測試.
응용압조효응원리제작규양화물절연체(SOI)압력전감기,구유내고온、항복사、은정성호등우점,본문설명료SOI재미전자궤계계통(MEMS)기술상적실현우세,병대압력전감기SOI결구적실현공예진행료탐색성시험,완성료SOI압력전감기적설계화봉장,재강조료압력전감기적측시방법적동시,대소설계적양품진행료측시.
