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전자원기건자신
ECDN
2009年
3期
40-43
,共4页
纳米压印%紫外%光学系统%气囊气缸%真空
納米壓印%紫外%光學繫統%氣囊氣缸%真空
납미압인%자외%광학계통%기낭기항%진공
本文介绍了紫外纳米压印技术原理,以及工艺中模板与基片的平行度对压印质量的影响.研制了气囊气缸式真空紫外纳米压印设备,其通过气囊气缸使模板与基片平行,从而可在大面积基片上确保压力均匀.研制了相应的光学系统,着重讨论了如何实现紫外纳米压印以及光学系统的设计和调整.制备了石英玻璃模板,实现了在商用紫外固化聚合物OG154上的紫外纳米压印,转移复制了具有100nm特征的5cm×5cm面积的纳米结构图形.
本文介紹瞭紫外納米壓印技術原理,以及工藝中模闆與基片的平行度對壓印質量的影響.研製瞭氣囊氣缸式真空紫外納米壓印設備,其通過氣囊氣缸使模闆與基片平行,從而可在大麵積基片上確保壓力均勻.研製瞭相應的光學繫統,著重討論瞭如何實現紫外納米壓印以及光學繫統的設計和調整.製備瞭石英玻璃模闆,實現瞭在商用紫外固化聚閤物OG154上的紫外納米壓印,轉移複製瞭具有100nm特徵的5cm×5cm麵積的納米結構圖形.
본문개소료자외납미압인기술원리,이급공예중모판여기편적평행도대압인질량적영향.연제료기낭기항식진공자외납미압인설비,기통과기낭기항사모판여기편평행,종이가재대면적기편상학보압력균균.연제료상응적광학계통,착중토론료여하실현자외납미압인이급광학계통적설계화조정.제비료석영파리모판,실현료재상용자외고화취합물OG154상적자외납미압인,전이복제료구유100nm특정적5cm×5cm면적적납미결구도형.
