电子测量与仪器学报
電子測量與儀器學報
전자측량여의기학보
JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT
2008年
z2期
85-89
,共5页
央具%探针%误差%校准
央具%探針%誤差%校準
앙구%탐침%오차%교준
本文论述了微波半导体器件在参数测试过程中由于引入测试夹具及测试探针而带来的误差修正技术,以及测试仪器在连接测试探针情况下而采用的SOLT(短路、开路、负载、直通)校准的技术.采用上述方法可明显提高微波半导体器件参数的测试精度及精确度.
本文論述瞭微波半導體器件在參數測試過程中由于引入測試夾具及測試探針而帶來的誤差脩正技術,以及測試儀器在連接測試探針情況下而採用的SOLT(短路、開路、負載、直通)校準的技術.採用上述方法可明顯提高微波半導體器件參數的測試精度及精確度.
본문논술료미파반도체기건재삼수측시과정중유우인입측시협구급측시탐침이대래적오차수정기술,이급측시의기재련접측시탐침정황하이채용적SOLT(단로、개로、부재、직통)교준적기술.채용상술방법가명현제고미파반도체기건삼수적측시정도급정학도.