人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2008年
3期
524-527,523
,共5页
黄涛华%周圣明%滕浩%林辉%王军
黃濤華%週聖明%滕浩%林輝%王軍
황도화%주골명%등호%림휘%왕군
提拉法%LiGaO2%化学腐蚀%透过光谱%AFM
提拉法%LiGaO2%化學腐蝕%透過光譜%AFM
제랍법%LiGaO2%화학부식%투과광보%AFM
采用提拉法成功地生长了高质量的LiGaO2单晶体,生长过程中没有观察到挥发现象.通过四晶X射线衍射、化学腐蚀、光学显微、透过光谱以及原子力显微镜对晶体的质量进行了表征.结果表明:晶体中无包裹物及气泡,具有很高的质量,(001)面晶片的摇摆曲线半高宽仅为16.2 arcsec,正交的(001)、(100)及(010)三个晶面具有不同的腐蚀形貌,其位错密度均低于104/cm2;LiGaO2晶体的吸收边约为220 nm;化学机械抛光后的晶片表面非常光滑,其均方根粗糙度仅为0.1 nm(5×5μm2).
採用提拉法成功地生長瞭高質量的LiGaO2單晶體,生長過程中沒有觀察到揮髮現象.通過四晶X射線衍射、化學腐蝕、光學顯微、透過光譜以及原子力顯微鏡對晶體的質量進行瞭錶徵.結果錶明:晶體中無包裹物及氣泡,具有很高的質量,(001)麵晶片的搖襬麯線半高寬僅為16.2 arcsec,正交的(001)、(100)及(010)三箇晶麵具有不同的腐蝕形貌,其位錯密度均低于104/cm2;LiGaO2晶體的吸收邊約為220 nm;化學機械拋光後的晶片錶麵非常光滑,其均方根粗糙度僅為0.1 nm(5×5μm2).
채용제랍법성공지생장료고질량적LiGaO2단정체,생장과정중몰유관찰도휘발현상.통과사정X사선연사、화학부식、광학현미、투과광보이급원자력현미경대정체적질량진행료표정.결과표명:정체중무포과물급기포,구유흔고적질량,(001)면정편적요파곡선반고관부위16.2 arcsec,정교적(001)、(100)급(010)삼개정면구유불동적부식형모,기위착밀도균저우104/cm2;LiGaO2정체적흡수변약위220 nm;화학궤계포광후적정편표면비상광활,기균방근조조도부위0.1 nm(5×5μm2).
