天津大学学报
天津大學學報
천진대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
7期
821-826
,共6页
权哲浩%林玉池%赵美蓉%齐永岳
權哲浩%林玉池%趙美蓉%齊永嶽
권철호%림옥지%조미용%제영악
压电微动台%尺蠖运动%有限元分析%静态特性%动态特性
壓電微動檯%呎蠖運動%有限元分析%靜態特性%動態特性
압전미동태%척확운동%유한원분석%정태특성%동태특성
设计了一种基于尺蠖运动原理的大行程纳米级步距压电微动台,变传统单驱动器结构为双驱动器结构,采用"推-拉"接力运动原理,实现了大的驱动力与行程.利用有限元方法对压电微动台的结构和静、动态特性进行了研究.实验结果表明,压电微动台的运动范围为11 mm,稳定性好,载物力可以达到24.5 N,最小步距小于20 nm.
設計瞭一種基于呎蠖運動原理的大行程納米級步距壓電微動檯,變傳統單驅動器結構為雙驅動器結構,採用"推-拉"接力運動原理,實現瞭大的驅動力與行程.利用有限元方法對壓電微動檯的結構和靜、動態特性進行瞭研究.實驗結果錶明,壓電微動檯的運動範圍為11 mm,穩定性好,載物力可以達到24.5 N,最小步距小于20 nm.
설계료일충기우척확운동원리적대행정납미급보거압전미동태,변전통단구동기결구위쌍구동기결구,채용"추-랍"접력운동원리,실현료대적구동력여행정.이용유한원방법대압전미동태적결구화정、동태특성진행료연구.실험결과표명,압전미동태적운동범위위11 mm,은정성호,재물력가이체도24.5 N,최소보거소우20 nm.
