Ni含量对PHEMT欧姆接触的影响
Ni함량대PHEMT구모접촉적영향
Effect of Ni Content to PHEMT Ohmic Contact
  • 万方数据
    电子器件 전자기건
    JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
    2007年 5期 1539-1541 ,共3页

    张书敬%杨瑞霞%崔玉兴%杨克武

    장서경%양서하%최옥흥%양극무

    AuGeNi/Au%砷化镓%欧姆接触 AuGeNi/Au%砷化鎵%歐姆接觸
    AuGeNi/Au%신화가%구모접촉
    研究了AuGeNi/Au金属系统中 Ni含量对n-GaAs欧姆接触的影响,用传输线法对接触电阻进行了测试,在原子力显微镜观测了合金表面形貌,测试了高温存储后接触电阻的变化.结果表明:Ni含量占AuGe的8%wt左右,Ge与Ni的厚度比在1.6:1左右时,可以得到相对比较好的欧姆接触.
    연구료AuGeNi/Au금속계통중 Ni함량대n-GaAs구모접촉적영향,용전수선법대접촉전조진행료측시,재원자력현미경관측료합금표면형모,측시료고온존저후접촉전조적변화.결과표명:Ni함량점AuGe적8%wt좌우,Ge여Ni적후도비재1.6:1좌우시,가이득도상대비교호적구모접촉.
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