光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2005年
z1期
1-4
,共4页
康福增%卢振武%李凤有%张红鑫%赵晶丽%张云翠
康福增%盧振武%李鳳有%張紅鑫%趙晶麗%張雲翠
강복증%로진무%리봉유%장홍흠%조정려%장운취
对准%机械轴%干涉
對準%機械軸%榦涉
대준%궤계축%간섭
为了解决平凸折衍混合透镜套刻加工中的对准问题,本文设计了一套进行套刻对准的实验路径.以机械轴为参考基准,使掩模板的环带中心和器件球面的对称轴分别与之对准,最终实现套刻过程中掩模板和器件对称轴的对准.最后根据加工实际情况进行了计算,对于口径是92 mm的衍射元件,得到的对准误差为2.125 μm,能够满足系统的要求.采用计算机等辅助手段,可实现亚微米量级的对准精度.
為瞭解決平凸摺衍混閤透鏡套刻加工中的對準問題,本文設計瞭一套進行套刻對準的實驗路徑.以機械軸為參攷基準,使掩模闆的環帶中心和器件毬麵的對稱軸分彆與之對準,最終實現套刻過程中掩模闆和器件對稱軸的對準.最後根據加工實際情況進行瞭計算,對于口徑是92 mm的衍射元件,得到的對準誤差為2.125 μm,能夠滿足繫統的要求.採用計算機等輔助手段,可實現亞微米量級的對準精度.
위료해결평철절연혼합투경투각가공중적대준문제,본문설계료일투진행투각대준적실험로경.이궤계축위삼고기준,사엄모판적배대중심화기건구면적대칭축분별여지대준,최종실현투각과정중엄모판화기건대칭축적대준.최후근거가공실제정황진행료계산,대우구경시92 mm적연사원건,득도적대준오차위2.125 μm,능구만족계통적요구.채용계산궤등보조수단,가실현아미미량급적대준정도.
