无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2007年
2期
354-358
,共5页
彭芳%李效民%高相东%于伟东%邱继军
彭芳%李效民%高相東%于偉東%邱繼軍
팽방%리효민%고상동%우위동%구계군
ZnO薄膜%电沉积%预处理%微观结构
ZnO薄膜%電沉積%預處理%微觀結構
ZnO박막%전침적%예처리%미관결구
采用阴极恒电流沉积方法,以Zn(NO3)2水溶液为电沉积液,在经电化学预处理后的ITO导电玻璃上生长了具有c轴高度择优取向、均匀致密的透明ZnO薄膜.采用X射线衍射、扫描电镜和光学透过谱等技术,对不同沉积时间条件下薄膜的结晶特性、表面和断面结构、光学性质等进行了研究.结果表明,沉积时间对ZnO薄膜质量影响明显:在薄膜生长后期(120min),ZnO薄膜的结晶性和表面平整度明显降低,晶粒尺寸增大,可见光透过率下降,表明高质量ZnO薄膜的电化学沉积有一最佳生长时间;此外,薄膜厚度随时间呈线性变化,表明可通过生长时间实现对ZnO薄膜厚度的精确控制.
採用陰極恆電流沉積方法,以Zn(NO3)2水溶液為電沉積液,在經電化學預處理後的ITO導電玻璃上生長瞭具有c軸高度擇優取嚮、均勻緻密的透明ZnO薄膜.採用X射線衍射、掃描電鏡和光學透過譜等技術,對不同沉積時間條件下薄膜的結晶特性、錶麵和斷麵結構、光學性質等進行瞭研究.結果錶明,沉積時間對ZnO薄膜質量影響明顯:在薄膜生長後期(120min),ZnO薄膜的結晶性和錶麵平整度明顯降低,晶粒呎吋增大,可見光透過率下降,錶明高質量ZnO薄膜的電化學沉積有一最佳生長時間;此外,薄膜厚度隨時間呈線性變化,錶明可通過生長時間實現對ZnO薄膜厚度的精確控製.
채용음겁항전류침적방법,이Zn(NO3)2수용액위전침적액,재경전화학예처리후적ITO도전파리상생장료구유c축고도택우취향、균균치밀적투명ZnO박막.채용X사선연사、소묘전경화광학투과보등기술,대불동침적시간조건하박막적결정특성、표면화단면결구、광학성질등진행료연구.결과표명,침적시간대ZnO박막질량영향명현:재박막생장후기(120min),ZnO박막적결정성화표면평정도명현강저,정립척촌증대,가견광투과솔하강,표명고질량ZnO박막적전화학침적유일최가생장시간;차외,박막후도수시간정선성변화,표명가통과생장시간실현대ZnO박막후도적정학공제.
