机械设计与研究
機械設計與研究
궤계설계여연구
MACHINE DESIGN AND RESEARCH
2006年
3期
44-46,56
,共4页
侯利程%沈雪瑾%陈晓阳%王旭
侯利程%瀋雪瑾%陳曉暘%王旭
후리정%침설근%진효양%왕욱
微谐振器%静电阻力%表面粗糙度%ANSYS
微諧振器%靜電阻力%錶麵粗糙度%ANSYS
미해진기%정전조력%표면조조도%ANSYS
微谐振器在MEMS器件中广泛作为感知或致动单元,但其工作在静电场中的部分构件,因微小间隙常会产生静电切向阻力.通过简化硅微谐振器为一微平行板电容模型,利用有限元仿真软件ANSYS对光滑与粗糙表面平板所受到的静电切向阻力进行了仿真分析.结果表明:静电阻力随着平板之间电压、ly/d的增大而增大,光滑表面平板模型仿真结果和理论结果具有较好的一致性,而粗糙表面平板模型仿真结果和理论结果的偏差随着电压的增大而增大.
微諧振器在MEMS器件中廣汎作為感知或緻動單元,但其工作在靜電場中的部分構件,因微小間隙常會產生靜電切嚮阻力.通過簡化硅微諧振器為一微平行闆電容模型,利用有限元倣真軟件ANSYS對光滑與粗糙錶麵平闆所受到的靜電切嚮阻力進行瞭倣真分析.結果錶明:靜電阻力隨著平闆之間電壓、ly/d的增大而增大,光滑錶麵平闆模型倣真結果和理論結果具有較好的一緻性,而粗糙錶麵平闆模型倣真結果和理論結果的偏差隨著電壓的增大而增大.
미해진기재MEMS기건중엄범작위감지혹치동단원,단기공작재정전장중적부분구건,인미소간극상회산생정전절향조력.통과간화규미해진기위일미평행판전용모형,이용유한원방진연건ANSYS대광활여조조표면평판소수도적정전절향조력진행료방진분석.결과표명:정전조력수착평판지간전압、ly/d적증대이증대,광활표면평판모형방진결과화이론결과구유교호적일치성,이조조표면평판모형방진결과화이론결과적편차수착전압적증대이증대.
