微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
2期
54-60
,共7页
姚华堂%于新海%王正东%涂善东
姚華堂%于新海%王正東%塗善東
요화당%우신해%왕정동%도선동
微反应器%微制作%结构%材料%加工%连接
微反應器%微製作%結構%材料%加工%連接
미반응기%미제작%결구%재료%가공%련접
探讨了微反应器制作技术的创新与优化,分析了微反应器的基本结构与常用材料,总结了它的三种主要加工技术,即硅体微加工、超精密加工与LIGA工艺,以及四种常用的连接方法,即键合技术、高能束焊接、扩散焊与粘接,指出了在选材、加工、连接等方面应注意的问题,并给出了相应的实例,其中包括一台利用铁-铬-铝不锈钢片制作的甲醇重整制氢微反应器,它采用放电加工和湿法刻蚀技术,用扩散焊实现了连接密封,经100 h的连续试验表明,该微反应器可以与10 W的燃料电池配套使用.最后指出了目前在该领域存在的主要问题.
探討瞭微反應器製作技術的創新與優化,分析瞭微反應器的基本結構與常用材料,總結瞭它的三種主要加工技術,即硅體微加工、超精密加工與LIGA工藝,以及四種常用的連接方法,即鍵閤技術、高能束銲接、擴散銲與粘接,指齣瞭在選材、加工、連接等方麵應註意的問題,併給齣瞭相應的實例,其中包括一檯利用鐵-鉻-鋁不鏽鋼片製作的甲醇重整製氫微反應器,它採用放電加工和濕法刻蝕技術,用擴散銲實現瞭連接密封,經100 h的連續試驗錶明,該微反應器可以與10 W的燃料電池配套使用.最後指齣瞭目前在該領域存在的主要問題.
탐토료미반응기제작기술적창신여우화,분석료미반응기적기본결구여상용재료,총결료타적삼충주요가공기술,즉규체미가공、초정밀가공여LIGA공예,이급사충상용적련접방법,즉건합기술、고능속한접、확산한여점접,지출료재선재、가공、련접등방면응주의적문제,병급출료상응적실례,기중포괄일태이용철-락-려불수강편제작적갑순중정제경미반응기,타채용방전가공화습법각식기술,용확산한실현료련접밀봉,경100 h적련속시험표명,해미반응기가이여10 W적연료전지배투사용.최후지출료목전재해영역존재적주요문제.
