红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2006年
2期
105-108
,共4页
田建柏%熊兵%王健%蔡鹏飞%孙长征%罗毅
田建柏%熊兵%王健%蔡鵬飛%孫長徵%囉毅
전건백%웅병%왕건%채붕비%손장정%라의
高速热沉%电吸收调制器%共面波导传输线%薄膜电阻%阻抗匹配
高速熱沉%電吸收調製器%共麵波導傳輸線%薄膜電阻%阻抗匹配
고속열침%전흡수조제기%공면파도전수선%박막전조%조항필배
设计制作了面向40Gb/s电吸收调制器(EAM)的高速微波过渡热沉,并进行了EAM管芯级封装测试的验证.这种基于氧化铝(Al2O3)的热沉采用共面波导(CPW)传输线以实现低损耗微波传送,以及Ta2N薄膜电阻用于EAM的阻抗匹配.采用Ti/Cu/Ni/Au金属材料作为CPW传输线电极材料,从而保证CPW传输线与Ta2N电阻材料之间良好的电接触,使热沉的典型反射系数在0～40GHz范围内均达到优于-21 dB的水平.作为验证,采用该种热沉用于高速EAM的管芯级封装,测试得到小信号调制响应带宽超过40GHz.
設計製作瞭麵嚮40Gb/s電吸收調製器(EAM)的高速微波過渡熱沉,併進行瞭EAM管芯級封裝測試的驗證.這種基于氧化鋁(Al2O3)的熱沉採用共麵波導(CPW)傳輸線以實現低損耗微波傳送,以及Ta2N薄膜電阻用于EAM的阻抗匹配.採用Ti/Cu/Ni/Au金屬材料作為CPW傳輸線電極材料,從而保證CPW傳輸線與Ta2N電阻材料之間良好的電接觸,使熱沉的典型反射繫數在0～40GHz範圍內均達到優于-21 dB的水平.作為驗證,採用該種熱沉用于高速EAM的管芯級封裝,測試得到小信號調製響應帶寬超過40GHz.
설계제작료면향40Gb/s전흡수조제기(EAM)적고속미파과도열침,병진행료EAM관심급봉장측시적험증.저충기우양화려(Al2O3)적열침채용공면파도(CPW)전수선이실현저손모미파전송,이급Ta2N박막전조용우EAM적조항필배.채용Ti/Cu/Ni/Au금속재료작위CPW전수선전겁재료,종이보증CPW전수선여Ta2N전조재료지간량호적전접촉,사열침적전형반사계수재0～40GHz범위내균체도우우-21 dB적수평.작위험증,채용해충열침용우고속EAM적관심급봉장,측시득도소신호조제향응대관초과40GHz.
