中山大学学报（自然科学版）
中山大學學報（自然科學版）
중산대학학보（자연과학판）
ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS SUNYATSENI
2006年
1期
29-32
,共4页
椭偏光谱%光学常数谱%Sol-Gel工艺%BST薄膜
橢偏光譜%光學常數譜%Sol-Gel工藝%BST薄膜
타편광보%광학상수보%Sol-Gel공예%BST박막
采用Sol-Gel工艺,在Si(100)衬底上制备了Ba1-xSrx TiO3 (0.1≤ x ≤0.3)多晶薄膜,并用椭偏光谱仪在光子能量为2.0～5.2 eV的范围内,测量了不同Sr含量x下Ba1-xSrxTiO3多晶薄膜的椭偏光谱.建立适当的拟合模型,用最优化法获得了所有样品的光学常数(折射率n和消光系数k)谱及能隙宽度Eg.比较这些结果发现:在低能区,Ba1-xSrxTiO3薄膜的折射率n随Sr含量x的增加无明显变化,但其吸收边向高能方向移动.表明Ba离子被Sr离子取代后,Ba1-xSrxTiO3薄膜的能隙宽度Eg增大.
採用Sol-Gel工藝,在Si(100)襯底上製備瞭Ba1-xSrx TiO3 (0.1≤ x ≤0.3)多晶薄膜,併用橢偏光譜儀在光子能量為2.0～5.2 eV的範圍內,測量瞭不同Sr含量x下Ba1-xSrxTiO3多晶薄膜的橢偏光譜.建立適噹的擬閤模型,用最優化法穫得瞭所有樣品的光學常數(摺射率n和消光繫數k)譜及能隙寬度Eg.比較這些結果髮現:在低能區,Ba1-xSrxTiO3薄膜的摺射率n隨Sr含量x的增加無明顯變化,但其吸收邊嚮高能方嚮移動.錶明Ba離子被Sr離子取代後,Ba1-xSrxTiO3薄膜的能隙寬度Eg增大.
채용Sol-Gel공예,재Si(100)츤저상제비료Ba1-xSrx TiO3 (0.1≤ x ≤0.3)다정박막,병용타편광보의재광자능량위2.0～5.2 eV적범위내,측량료불동Sr함량x하Ba1-xSrxTiO3다정박막적타편광보.건립괄당적의합모형,용최우화법획득료소유양품적광학상수(절사솔n화소광계수k)보급능극관도Eg.비교저사결과발현:재저능구,Ba1-xSrxTiO3박막적절사솔n수Sr함량x적증가무명현변화,단기흡수변향고능방향이동.표명Ba리자피Sr리자취대후,Ba1-xSrxTiO3박막적능극관도Eg증대.
