CCD尺寸检测中安装误差对测量精度的影响
CCD척촌검측중안장오차대측량정도적영향
Effect of Alignment Error to Measurement Accuracy in CCD Dimension Measuring System
  • 万方数据
    仪器仪表学报 의기의표학보
    CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
    2005年 10期 1093-1096,1100 ,共5页

    武利生%杨丽凤%李元宗

    무리생%양려봉%리원종

    CCD%尺寸检测%误差 CCD%呎吋檢測%誤差
    CCD%척촌검측%오차
    在用面阵CCD进行尺寸检测时,由于CCD平面与被测尺寸平面不平行而带来了误差.利用齐次坐标变换建立了从工件平面到CCD平面的坐标变换关系,推导尺寸投影变换关系及误差表达式和最大误差公式,并讨论了误差变化的规律及减小或消除这一误差的方法.
    재용면진CCD진행척촌검측시,유우CCD평면여피측척촌평면불평행이대래료오차.이용제차좌표변환건립료종공건평면도CCD평면적좌표변환관계,추도척촌투영변환관계급오차표체식화최대오차공식,병토론료오차변화적규률급감소혹소제저일오차적방법.
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