江西师范大学学报（自然科学版）
江西師範大學學報（自然科學版）
강서사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIANGXI NORMAL UNIVERSITY（NATURAL SCIENCES EDITION）
2005年
5期
453-456
,共4页
吕珂%叶志清%薛琴%柯强%闵秋应
呂珂%葉誌清%薛琴%柯彊%閔鞦應
려가%협지청%설금%가강%민추응
GaN薄膜%脉冲激光沉积%X射线衍射
GaN薄膜%脈遲激光沉積%X射線衍射
GaN박막%맥충격광침적%X사선연사
采用脉冲激光沉积技术,在Al2O3(0001)衬底上生长GaN薄膜,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)研究了不同沉积温度,不同沉积压强对所生长的GaN薄膜晶体结构特征的影响.研究表明,沉积温度影响GaN薄膜结构,在700～750℃沉积范围内随温度升高,所沉积生长的GaN薄膜具有良好的结晶质量.在5～10Pa沉积气压范围内,提高气压有利提高GaN薄膜的结晶质量.
採用脈遲激光沉積技術,在Al2O3(0001)襯底上生長GaN薄膜,利用X射線衍射(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)研究瞭不同沉積溫度,不同沉積壓彊對所生長的GaN薄膜晶體結構特徵的影響.研究錶明,沉積溫度影響GaN薄膜結構,在700～750℃沉積範圍內隨溫度升高,所沉積生長的GaN薄膜具有良好的結晶質量.在5～10Pa沉積氣壓範圍內,提高氣壓有利提高GaN薄膜的結晶質量.
채용맥충격광침적기술,재Al2O3(0001)츤저상생장GaN박막,이용X사선연사(XRD)、원자력현미경(AFM)연구료불동침적온도,불동침적압강대소생장적GaN박막정체결구특정적영향.연구표명,침적온도영향GaN박막결구,재700～750℃침적범위내수온도승고,소침적생장적GaN박막구유량호적결정질량.재5～10Pa침적기압범위내,제고기압유리제고GaN박막적결정질량.
