吉林大学学报（工学版）
吉林大學學報（工學版）
길림대학학보（공학판）
JOURNAL OF JILIN UNIVERSITY(ENGINEERING AND TECHNOLOGY EDITION)
2007年
1期
11-16
,共6页
张会平%江中浩%刘先黎%连建设%侯旭峰%李光玉
張會平%江中浩%劉先黎%連建設%侯旭峰%李光玉
장회평%강중호%류선려%련건설%후욱봉%리광옥
材料表面与界面%化学镀%纳米铜膜%电阻率%玻璃基体
材料錶麵與界麵%化學鍍%納米銅膜%電阻率%玻璃基體
재료표면여계면%화학도%납미동막%전조솔%파리기체
利用化学镀铜工艺,以十二烷基苯磺酸钠(SDBS)作为镀液添加剂,在未经刻蚀的玻璃表面制备了纳米铜膜.采用FESEM、SEM和XRD等技术对铜膜表面、断面形貌及晶体结构进行了表征.结果表明,铜膜内团簇尺寸非常细小,晶粒尺寸约为15.5～28.3 nm,且存在较强的《111》织构.采用四探针法测量铜膜的电阻率,并讨论了电阻率随沉积时间增加而逐渐下降的原因.
利用化學鍍銅工藝,以十二烷基苯磺痠鈉(SDBS)作為鍍液添加劑,在未經刻蝕的玻璃錶麵製備瞭納米銅膜.採用FESEM、SEM和XRD等技術對銅膜錶麵、斷麵形貌及晶體結構進行瞭錶徵.結果錶明,銅膜內糰簇呎吋非常細小,晶粒呎吋約為15.5～28.3 nm,且存在較彊的《111》織構.採用四探針法測量銅膜的電阻率,併討論瞭電阻率隨沉積時間增加而逐漸下降的原因.
이용화학도동공예,이십이완기분광산납(SDBS)작위도액첨가제,재미경각식적파리표면제비료납미동막.채용FESEM、SEM화XRD등기술대동막표면、단면형모급정체결구진행료표정.결과표명,동막내단족척촌비상세소,정립척촌약위15.5～28.3 nm,차존재교강적《111》직구.채용사탐침법측량동막적전조솔,병토론료전조솔수침적시간증가이축점하강적원인.
