CAJ | 학술논문

为了提高三轴加速度计机械精度和加工过程中硅片的一致性,设计了基于SOI的单质量块四边八梁结构的三轴加速度计.通过连接扩散在梁上的压敏电阻构成得惠斯通电桥检测三个方向的加速度信号.电桥设计为开环形式,并给出三个方向的电桥输出.结合材料力学和振动力学中的相关理论,建立了结构的数学模型,并对其进行了系统的力学分析,从而得出结构参数对加速度计的一阶固有频率、灵敏度等性能的影响.利用有限元ANSYS仿真软件对结构模型进行了静态和模态分析,验证了力学分析的正确性.最后设计了八张版图及一套可行的工艺流程并加工出加速度计裸片.该微加速度计可同时检测三维加速度矢量,且电桥和结构的设计均较好的抑制了横向效应.
위료제고삼축가속도계궤계정도화가공과정중규편적일치성,설계료기우SOI적단질량괴사변팔량결구적삼축가속도계.통과련접확산재량상적압민전조구성득혜사통전교검측삼개방향적가속도신호.전교설계위개배형식,병급출삼개방향적전교수출.결합재료역학화진동역학중적상관이론,건립료결구적수학모형,병대기진행료계통적역학분석,종이득출결구삼수대가속도계적일계고유빈솔、령민도등성능적영향.이용유한원ANSYS방진연건대결구모형진행료정태화모태분석,험증료역학분석적정학성.최후설계료팔장판도급일투가행적공예류정병가공출가속도계라편.해미가속도계가동시검측삼유가속도시량,차전교화결구적설계균교호적억제료횡향효응.