仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2003年
z1期
50-52
,共3页
冯晓国%张景和%张承嘉%何惠阳
馮曉國%張景和%張承嘉%何惠暘
풍효국%장경화%장승가%하혜양
划片机%封装设备%集成电路
劃片機%封裝設備%集成電路
화편궤%봉장설비%집성전로
划片是集成电路(IC)后封装中的第一道工序,其加工质量将直接影响整个生产线的整体质量.本文介绍了中科院长春光机所自行研制的划片机的研制过程.重点阐述了总体机构设计、主要分系统设计和设备的最终检测结果.结果表明,设备主要性能指标已达到了国际20世纪90年代中期水平.
劃片是集成電路(IC)後封裝中的第一道工序,其加工質量將直接影響整箇生產線的整體質量.本文介紹瞭中科院長春光機所自行研製的劃片機的研製過程.重點闡述瞭總體機構設計、主要分繫統設計和設備的最終檢測結果.結果錶明,設備主要性能指標已達到瞭國際20世紀90年代中期水平.
화편시집성전로(IC)후봉장중적제일도공서,기가공질량장직접영향정개생산선적정체질량.본문개소료중과원장춘광궤소자행연제적화편궤적연제과정.중점천술료총체궤구설계、주요분계통설계화설비적최종검측결과.결과표명,설비주요성능지표이체도료국제20세기90년대중기수평.
