微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2007年
5期
678-681
,共4页
阚玲%张扬波%许生健%朱煜开
闞玲%張颺波%許生健%硃煜開
감령%장양파%허생건%주욱개
双极集成电路%欧姆接触%薄氧化物%湿法腐蚀%工艺控制
雙極集成電路%歐姆接觸%薄氧化物%濕法腐蝕%工藝控製
쌍겁집성전로%구모접촉%박양화물%습법부식%공예공제
为解决一种双极集成电路在生产中欧姆接触电阻过大的问题,针对关键工艺进行了统计分析和专项实验,找到了问题的原因和解决方法,对提高大规模集成电路的工艺制造稳定性具有非常重要的意义.
為解決一種雙極集成電路在生產中歐姆接觸電阻過大的問題,針對關鍵工藝進行瞭統計分析和專項實驗,找到瞭問題的原因和解決方法,對提高大規模集成電路的工藝製造穩定性具有非常重要的意義.
위해결일충쌍겁집성전로재생산중구모접촉전조과대적문제,침대관건공예진행료통계분석화전항실험,조도료문제적원인화해결방법,대제고대규모집성전로적공예제조은정성구유비상중요적의의.
