CAJ | 학술논문

钛酸锶铅((Pb1-xSrx)TiO3,PST)固溶体材料是一种性能优良的钙钛矿型铁电材料,其形成铁电相的温度较低,且易于和半导体工艺结合,应用潜力较大.本文采用磁控溅射法制备了PST薄膜,并初步研究了其介电和铁电特性.结果表明,磁控溅射得到的PST薄膜必须进行一定的热处理,才能使之转变为具有铁电性的钙钛矿结构的铁电薄膜.其介电特性与测试频率有关,试样的饱和极化强度可达19 μC/cm2,剩余极化强度可达6.6 μC/cm2,矫顽场强达16 kV/cm,热释电系数达10-4 C/m2*K量级,表明所制备的PST薄膜具有良好的铁电性.
태산송연((Pb1-xSrx)TiO3,PST)고용체재료시일충성능우량적개태광형철전재료,기형성철전상적온도교저,차역우화반도체공예결합,응용잠력교대.본문채용자공천사법제비료PST박막,병초보연구료기개전화철전특성.결과표명,자공천사득도적PST박막필수진행일정적열처리,재능사지전변위구유철전성적개태광결구적철전박막.기개전특성여측시빈솔유관,시양적포화겁화강도가체19 μC/cm2,잉여겁화강도가체6.6 μC/cm2,교완장강체16 kV/cm,열석전계수체10-4 C/m2*K량급,표명소제비적PST박막구유량호적철전성.