北京师范大学学报(自然科学版)
北京師範大學學報(自然科學版)
북경사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2001年
3期
356-358
,共3页
杜树成%于理科%姬成周%李国辉
杜樹成%于理科%姬成週%李國輝
두수성%우이과%희성주%리국휘
锗%光电探测器%离子注入
鍺%光電探測器%離子註入
타%광전탐측기%리자주입
采用锗材料研制出了工作在1.55μm波长的全离子注入光电晶体管.选用(120keV,2.5×1012cm-2)+(260keV,5×1012cm-2)的硼注入和160keV,5×1014cm-2磷注入,650℃15s快速退火;采用聚酰亚胺作为钝化膜以及台面结构.NPNGe光电三极管的hFE＝40～180.在波长为1.55μm、功率为0.7μW的光照下得到了40A*W-1的响应度.
採用鍺材料研製齣瞭工作在1.55μm波長的全離子註入光電晶體管.選用(120keV,2.5×1012cm-2)+(260keV,5×1012cm-2)的硼註入和160keV,5×1014cm-2燐註入,650℃15s快速退火;採用聚酰亞胺作為鈍化膜以及檯麵結構.NPNGe光電三極管的hFE＝40～180.在波長為1.55μm、功率為0.7μW的光照下得到瞭40A*W-1的響應度.
채용타재료연제출료공작재1.55μm파장적전리자주입광전정체관.선용(120keV,2.5×1012cm-2)+(260keV,5×1012cm-2)적붕주입화160keV,5×1014cm-2린주입,650℃15s쾌속퇴화;채용취선아알작위둔화막이급태면결구.NPNGe광전삼겁관적hFE＝40～180.재파장위1.55μm、공솔위0.7μW적광조하득도료40A*W-1적향응도.
