光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2008年
1期
98-99,104
,共3页
光学测量%哈特曼检验%径向斜率检验%像质检验
光學測量%哈特曼檢驗%徑嚮斜率檢驗%像質檢驗
광학측량%합특만검험%경향사솔검험%상질검험
采用自基准哈特曼径向斜率测量原理,设计了旋转加摩擦线性移动扫描机构,对被测波前进行连续极坐标扫描采样;用CCD相机采集光斑图像,经波面径向斜率计算和泽尼克径向斜率多项式最小二乘拟合,求出被测波面的泽尼克系数和波前畸变值.与干涉仪测量结果进行了比较,所以研制的波前测量装置可满足大口径光学系统的像质测量.
採用自基準哈特曼徑嚮斜率測量原理,設計瞭鏇轉加摩抆線性移動掃描機構,對被測波前進行連續極坐標掃描採樣;用CCD相機採集光斑圖像,經波麵徑嚮斜率計算和澤尼剋徑嚮斜率多項式最小二乘擬閤,求齣被測波麵的澤尼剋繫數和波前畸變值.與榦涉儀測量結果進行瞭比較,所以研製的波前測量裝置可滿足大口徑光學繫統的像質測量.
채용자기준합특만경향사솔측량원리,설계료선전가마찰선성이동소묘궤구,대피측파전진행련속겁좌표소묘채양;용CCD상궤채집광반도상,경파면경향사솔계산화택니극경향사솔다항식최소이승의합,구출피측파면적택니극계수화파전기변치.여간섭의측량결과진행료비교,소이연제적파전측량장치가만족대구경광학계통적상질측량.
