压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2000年
6期
367-369
,共3页
邱虹云%褚祥诚%董蜀湘%李龙土%桂治轮
邱虹雲%褚祥誠%董蜀湘%李龍土%桂治輪
구홍운%저상성%동촉상%리룡토%계치륜
压电%电流变液体%平面步进驱动器
壓電%電流變液體%平麵步進驅動器
압전%전류변액체%평면보진구동기
首次提出了一种利用压电效应和电流变效应相结合的新型平面步进式驱动器.研制的驱动器包括4个提供驱动力和产生位移的多层压电致动器,以及4个用来箝位的电流变箝位器.根据仿生运动模式,箝位器与压电致动器采用不同的运动组合,可分别实现沿x向或y向的蠕动式步进运动.实验结果显示,平面步进驱动器样机在x向和y向都能灵活运动,并具有大行程和低于0.1 μm的高的分辨率特性.驱动器的最高步进速度为6 mm/min,最大承载能力为1.70 N.
首次提齣瞭一種利用壓電效應和電流變效應相結閤的新型平麵步進式驅動器.研製的驅動器包括4箇提供驅動力和產生位移的多層壓電緻動器,以及4箇用來箝位的電流變箝位器.根據倣生運動模式,箝位器與壓電緻動器採用不同的運動組閤,可分彆實現沿x嚮或y嚮的蠕動式步進運動.實驗結果顯示,平麵步進驅動器樣機在x嚮和y嚮都能靈活運動,併具有大行程和低于0.1 μm的高的分辨率特性.驅動器的最高步進速度為6 mm/min,最大承載能力為1.70 N.
수차제출료일충이용압전효응화전류변효응상결합적신형평면보진식구동기.연제적구동기포괄4개제공구동력화산생위이적다층압전치동기,이급4개용래겸위적전류변겸위기.근거방생운동모식,겸위기여압전치동기채용불동적운동조합,가분별실현연x향혹y향적연동식보진운동.실험결과현시,평면보진구동기양궤재x향화y향도능령활운동,병구유대행정화저우0.1 μm적고적분변솔특성.구동기적최고보진속도위6 mm/min,최대승재능력위1.70 N.
