西安电子科技大学学报(自然科学版)
西安電子科技大學學報(自然科學版)
서안전자과기대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF XIDIAN UNIVERSITY
2001年
1期
120-124
,共5页
高温%压力传感器%碳化硅
高溫%壓力傳感器%碳化硅
고온%압력전감기%탄화규
介绍了高温半导体压力传感器的应用和国内外研究发展现状，论述了几种主要的高温半导体压力传感器的工作原理和关键技术，比较了不同传感器结构和制作工艺之间的优缺点，重点介绍了新型SiC高温压力传感器．
介紹瞭高溫半導體壓力傳感器的應用和國內外研究髮展現狀，論述瞭幾種主要的高溫半導體壓力傳感器的工作原理和關鍵技術，比較瞭不同傳感器結構和製作工藝之間的優缺點，重點介紹瞭新型SiC高溫壓力傳感器．
개소료고온반도체압력전감기적응용화국내외연구발전현상，논술료궤충주요적고온반도체압력전감기적공작원리화관건기술，비교료불동전감기결구화제작공예지간적우결점，중점개소료신형SiC고온압력전감기．
The application and the development of high temperaturesemiconductor pressure sensor are overviewed. Its principle, key techniques, and the characteristics are compared and discussed, with emphasis on the introduction of some new types of SiC high temperature pressure sensor.
