功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2000年
4期
388-392
,共5页
偏振器%光弹性调制器(PEM)%平面内光学各向异性
偏振器%光彈性調製器(PEM)%平麵內光學各嚮異性
편진기%광탄성조제기(PEM)%평면내광학각향이성
利用RDS测试系统,可以在近垂直入射条件下,测量出样品的反射系数在样品平面内两个互相垂直的方向上的细微差异,即所谓平面内光学各向异性.它对研究半导体材料及其量子阱超晶格等低维结构中的平面内光学各向异性、半导体表面重构和对外延生长过程中的实时监控都具有重要作用.本系统已为研究工作提供了大量数据.
利用RDS測試繫統,可以在近垂直入射條件下,測量齣樣品的反射繫數在樣品平麵內兩箇互相垂直的方嚮上的細微差異,即所謂平麵內光學各嚮異性.它對研究半導體材料及其量子阱超晶格等低維結構中的平麵內光學各嚮異性、半導體錶麵重構和對外延生長過程中的實時鑑控都具有重要作用.本繫統已為研究工作提供瞭大量數據.
이용RDS측시계통,가이재근수직입사조건하,측량출양품적반사계수재양품평면내량개호상수직적방향상적세미차이,즉소위평면내광학각향이성.타대연구반도체재료급기양자정초정격등저유결구중적평면내광학각향이성、반도체표면중구화대외연생장과정중적실시감공도구유중요작용.본계통이위연구공작제공료대량수거.
