传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2000年
3期
225-229
,共5页
童茂松%戴国瑞%薛辉%何秀丽%吴元大%高鼎三
童茂鬆%戴國瑞%薛輝%何秀麗%吳元大%高鼎三
동무송%대국서%설휘%하수려%오원대%고정삼
溶胶-凝胶法%V2O5薄膜%气体传感器
溶膠-凝膠法%V2O5薄膜%氣體傳感器
용효-응효법%V2O5박막%기체전감기
本文研究了用无机溶胶凝胶法制备的V2O5薄膜的XRD结果及其气敏特性.凝胶在400 C下烧结12 h后完全形成了V2O5晶体.掺3 wt%Pd+1 wt%Au的V2Os薄膜在较大范围内对乙醇具有较高的灵敏度.加热电压为5.5 V时灵敏度达到最大值.该气敏薄膜具有较好的选择性,NH3、H2、CO、CH3COCH3等气体不干扰元件的测量.元件的响应时间为15 s,恢复时间为5 s.
本文研究瞭用無機溶膠凝膠法製備的V2O5薄膜的XRD結果及其氣敏特性.凝膠在400 C下燒結12 h後完全形成瞭V2O5晶體.摻3 wt%Pd+1 wt%Au的V2Os薄膜在較大範圍內對乙醇具有較高的靈敏度.加熱電壓為5.5 V時靈敏度達到最大值.該氣敏薄膜具有較好的選擇性,NH3、H2、CO、CH3COCH3等氣體不榦擾元件的測量.元件的響應時間為15 s,恢複時間為5 s.
본문연구료용무궤용효응효법제비적V2O5박막적XRD결과급기기민특성.응효재400 C하소결12 h후완전형성료V2O5정체.참3 wt%Pd+1 wt%Au적V2Os박막재교대범위내대을순구유교고적령민도.가열전압위5.5 V시령민도체도최대치.해기민박막구유교호적선택성,NH3、H2、CO、CH3COCH3등기체불간우원건적측량.원건적향응시간위15 s,회복시간위5 s.
