稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2007年
z1期
9-12
,共4页
滕晓云%刘彩池%郝秋艳%许贺菊%于威%傅广生
滕曉雲%劉綵池%郝鞦豔%許賀菊%于威%傅廣生
등효운%류채지%학추염%허하국%우위%부엄생
ZnO薄膜%氧压%脉冲激光沉积
ZnO薄膜%氧壓%脈遲激光沉積
ZnO박막%양압%맥충격광침적
采用脉冲激光沉积法在Si(111)基片上制备了ZnO薄膜.利用X射线衍射、光致发光、扫描电子显微镜等表征技术研究工作氧压对ZnO薄膜的结晶特性和光学性能的影响.研究结果表明,氧压的增大,有助于更多的氧原子进入晶格,有效减少薄膜中的缺陷和应力,使ZnO薄膜结构趋于完整,但是过高的氧压将严重地影响薄膜的沉积速率,加剧衬底Si的氧化,从而使薄膜的结晶质量恶化.所有的ZnO薄膜均显示出较强的紫外发光蜂,并且结晶性与发光特性有很好的一致性.
採用脈遲激光沉積法在Si(111)基片上製備瞭ZnO薄膜.利用X射線衍射、光緻髮光、掃描電子顯微鏡等錶徵技術研究工作氧壓對ZnO薄膜的結晶特性和光學性能的影響.研究結果錶明,氧壓的增大,有助于更多的氧原子進入晶格,有效減少薄膜中的缺陷和應力,使ZnO薄膜結構趨于完整,但是過高的氧壓將嚴重地影響薄膜的沉積速率,加劇襯底Si的氧化,從而使薄膜的結晶質量噁化.所有的ZnO薄膜均顯示齣較彊的紫外髮光蜂,併且結晶性與髮光特性有很好的一緻性.
채용맥충격광침적법재Si(111)기편상제비료ZnO박막.이용X사선연사、광치발광、소묘전자현미경등표정기술연구공작양압대ZnO박막적결정특성화광학성능적영향.연구결과표명,양압적증대,유조우경다적양원자진입정격,유효감소박막중적결함화응력,사ZnO박막결구추우완정,단시과고적양압장엄중지영향박막적침적속솔,가극츤저Si적양화,종이사박막적결정질량악화.소유적ZnO박막균현시출교강적자외발광봉,병차결정성여발광특성유흔호적일치성.
