传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2000年
4期
5-6,10
,共3页
童茂松%戴国瑞%何秀丽%吴远大%高鼎三
童茂鬆%戴國瑞%何秀麗%吳遠大%高鼎三
동무송%대국서%하수려%오원대%고정삼
TiO2/V2O5双层薄膜%等离子增强化学气相沉积%溶胶-凝胶%三甲基胺气敏特性
TiO2/V2O5雙層薄膜%等離子增彊化學氣相沉積%溶膠-凝膠%三甲基胺氣敏特性
TiO2/V2O5쌍층박막%등리자증강화학기상침적%용효-응효%삼갑기알기민특성
报道了以TiCl4和V2O5为源,采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)和溶胶-凝胶(sol-gel)技术制备了TiO2/V2O5双层薄膜,将该薄膜沉积在带有金梳状电极的陶瓷管和硅片上,进行了X射线衍射(XRD)分析,并且测量其对三甲基胺(TMA)的气敏特性.结果发现该双层薄膜对TMA具有高灵敏度、良好的选择特性和快速的响应恢复特性.
報道瞭以TiCl4和V2O5為源,採用等離子增彊化學氣相沉積(PECVD)和溶膠-凝膠(sol-gel)技術製備瞭TiO2/V2O5雙層薄膜,將該薄膜沉積在帶有金梳狀電極的陶瓷管和硅片上,進行瞭X射線衍射(XRD)分析,併且測量其對三甲基胺(TMA)的氣敏特性.結果髮現該雙層薄膜對TMA具有高靈敏度、良好的選擇特性和快速的響應恢複特性.
보도료이TiCl4화V2O5위원,채용등리자증강화학기상침적(PECVD)화용효-응효(sol-gel)기술제비료TiO2/V2O5쌍층박막,장해박막침적재대유금소상전겁적도자관화규편상,진행료X사선연사(XRD)분석,병차측량기대삼갑기알(TMA)적기민특성.결과발현해쌍층박막대TMA구유고령민도、량호적선택특성화쾌속적향응회복특성.
